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簡(jiǎn)要描述:瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥滿(mǎn)足超高真空要求
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瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥
59.0 系列的特殊控制功能確保可重復(fù)的精確氣流設(shè)置,增強(qiáng)了過(guò)程控制能力。其還能在整個(gè)使用壽命內(nèi)提供可靠的密封關(guān)閉,不會(huì)出現(xiàn)任何密封疲勞風(fēng)險(xiǎn)。
此外,59.0 系列采用全金屬設(shè)計(jì)(高級(jí)不銹鋼閥體和鍍金不銹鋼薄膜閘封),因此具有出色的抗腐蝕性和抗腐蝕性氣體特性。
59.0 系列已經(jīng)安裝在數(shù)百個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中,證明了其可靠性。其已成為超高真空和真空應(yīng)用中可變泄漏閥的標(biāo)準(zhǔn)解決方案。
59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥提供 DN為16 mm (5/8") 的角閥或內(nèi)聯(lián)閥,帶手動(dòng)驅(qū)動(dòng)器,或帶配有步進(jìn)電機(jī)的集成式或可拆卸壓力控制器。59.0 系列最高可烘烤至300℃。根據(jù)烘烤過(guò)程中的情況,可以在烘烤過(guò)程中取下驅(qū)動(dòng)器。標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 CF-R,固定到位。
隔膜采用“硬對(duì)硬"密封技術(shù),閥門(mén)在整個(gè)使用壽命內(nèi)可進(jìn)行 40 萬(wàn)次控制循環(huán)和 1 萬(wàn)次密封關(guān)閉循環(huán),無(wú)需任何維護(hù),其可作為零部件使用,并且易于更換。
特點(diǎn):
適用于最小氣流的高精度氣體計(jì)量
精確可重復(fù)的氣流設(shè)置
可靠的持續(xù)密封
耐腐蝕和腐蝕性氣體
優(yōu)勢(shì):
在極小氣流下可實(shí)現(xiàn)最佳壓力控制
工藝可控性增強(qiáng)
正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)
瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥
尺寸 | DN 16 (?") | |||
---|---|---|---|---|
驅(qū)動(dòng)器 | 手動(dòng) | 方向盤(pán) | ||
帶步進(jìn)電機(jī)的集成式或可拆卸壓力控制器 | ||||
閥體材料 | 不銹鋼 | |||
標(biāo)準(zhǔn)法蘭 | CF-R | |||
密封技術(shù) | 隔膜 | |||
泄漏率 | 閥體 | < 1 × 10-10 mbar ls-1 | ||
閥座 | < 1 × 10-10 mbar ls-1 | |||
壓力范圍 | 超高真空至 2bar(絕對(duì)壓強(qiáng)) | |||
壓差 | 打開(kāi)時(shí) | ≤ 10 bar | ||
死區(qū) | 角閥: | 閥座側(cè) 側(cè)端口 | 2.7 cm3 1.1 cm3 | |
內(nèi)聯(lián)閥: | 閥座側(cè) 側(cè)端口 | 0.98 cm3 1.01 cm3 | ||
首維護(hù)前開(kāi)關(guān)次數(shù) | 20 000 | |||
烘烤溫度 | 閥體 | ≤ 300 °C | ||
手動(dòng)驅(qū)動(dòng)器 | ≤ 300 °C | |||
帶步進(jìn)電機(jī)的控制器 | ≤ 50 °C | |||
加熱和冷卻速率 | ≤ 60 °C h-1 | |||
材料 | 閥體 | AISI 660 (1.4943), AISI 316L (1.4404) | ||
隔膜 | AISI 301 (1.4310), 鍍金 | |||
安裝位置 | 任何位置 | |||
閥門(mén)位置指示 | 視覺(jué)(比例) | |||
流導(dǎo)(分子流) | 0.05 ls-1 | |||
可調(diào)節(jié)氣流 | 1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1 | |||
重量 | 帶手動(dòng)驅(qū)動(dòng)器 | 0.94 kg / 2.07 lbs | ||
帶受控步進(jìn)電機(jī) | 2.5 kg / 5.5 lbs |
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